X熒光光譜儀是一種波長較短的電磁輻射，凡間是指能t局限在0.1^-100keV的光子。X射線光譜儀與物質的互相效果首要有熒光、接收和散射三種。X射線熒光光譜儀是由物質中的構成元素發生的特征輻射，經過側里和剖析樣品發生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家構成，獲得物質成分的定性和定量信息。特征x射線的發生與特征當用高能電子束照耀樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負的加快度會發生寬帶的延續X射線譜，簡稱為延續潛或韌致輻射。
另一方面，化學元素遭到高能光子或粒子的照耀，如內層電子被激起，則當外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。特征X射線是一種別離的不延續譜.假如激起光源為x射線，則受激發生的x射線稱為二次X射線或X射線熒光。特征x射線顯示了特征x射線光譜儀發生的進程。當人射x射線撞擊原子中的電子時，如光子能量大于原子中的電子約束能，電子就會被擊出。這一互相效果進程被稱為光電效應，被打出的電子稱為光電子.經過研討光電子或光電效應可以取得關于原子構造和成鍵形態的信息。
在人們的日常生涯中，很多資料都含有濃度不等的重金屬元素，例如鉛、鉻、汞等.這些元家對人體有毒有害，其含量如超出答應局限，會極大損害人的安康，包羅人的行為才能和智力程度。因而，歐盟針對塑料產物等的新規范曾經生效，對有毒有害元素含量有了更為嚴厲的限制。因為我國每年有大徽塑材出口。這一規范的施行對我國原資料出產和出口有著極大的影響。而XRF光譜儀技能則特殊合適于用來監控相關資料中的有毒有害元家的含量，該技能已普遍使用于實踐出產質zui節制。
此外，XRF光譜儀在無損檢測方面，具有其他剖析技能無法比較的長處，應用X射線光譜儀掃描辦法探測土壤表層下面的是元素是X射線無損檢側技能的一個主要使用范疇。
